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廣州潽拓光電科技有限公司

萊寶分子泵-萊寶分子泵維修保養-廣州潽拓光電公司(多圖)

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  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
  • 公司地址:廣州市番禺區化龍鎮潭山環(huán)村公路1-1號
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    萊寶Leybold turbovac MAG W 3200渦輪分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半導體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導體工業(yè),渦輪分子泵用于以下應用場(chǎng)合:- 蝕刻;- 濺射;- 離子注入;- CVD;- 光刻。這些應用中,經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設備的磁懸浮分子泵,以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻,渦輪分子泵的泵內可能發(fā)生沉積現象, 選用帶溫度控制的擴展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比,磁懸浮泵的優(yōu)勢在于氣體流量較大時(shí)可以防止軸承過(guò)熱,能夠有效地防止腐蝕性介質(zhì)對磁懸浮軸承的損壞。







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leybold TW250 Leybold TW250大量應用于光盤(pán)生產(chǎn)線(xiàn)和小型鍍膜生產(chǎn)線(xiàn),復合型轉子,

對前置真空要求較低,轉速51600rpm .

廣州潽拓光電科技有限公司維修Leybold全系列分子泵,

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